为半导体、化合物半导体和平板显示器的制造流程提供集成气体、化学品、镀膜、真空和废气处理设备等产品以及广泛的服务。

满足化工、石化和废水处理、冶金、电力和空气动力输送等行业对应用的高要求，提供高性能的真空和压力技术。

提供高精度真空泵和系统，用于质谱仪、电子显微镜、样品生产以及研究和开发。

为从研发方面的应用到全程 生产——尤其是化合物半导体、发光二极管 (LED) 、光学元件和仪器的制造，提供世界级的镀膜系统、组件和薄膜仪器。